SrTiO3 սուբստրատ
Նկարագրություն
SrTiO3 միաբյուրեղն ունի պերովսկիտային կառուցվածքի նյութի լավ վանդակավոր կառուցվածք:Այն հիանալի ենթաշերտային նյութ է HTS-ի և օքսիդային թաղանթների մեծ մասի էպիտաքսիա աճի համար:Այն լայնորեն կիրառվել է բարձր ջերմաստիճանի գերհաղորդիչ բարակ թաղանթների հետազոտության մեջ։Այն նաև լայնորեն կիրառվում է հատուկ օպտիկական պատուհանների և բարձրորակ ցողման թիրախներում:
Հատկություններ
Կողմնորոշումը՝ (100) +/-0,5 աստիճան
Եզրերի կողմնորոշման ցուցում. <001> +/-2 աստիճան հասանելի է որպես տարբերակ՝ հավելյալ գնով
Լեհերեն. Միակողմանի EPI-ը փայլեցված է CMP տեխնոլոգիայով՝ ավելի քիչ ենթամակերևույթային ցանցի վնասվածությամբ:
Փաթեթ: Փաթեթավորված է 100 կարգի պլաստիկ տոպրակի մեջ 1000 դասի մաքուր սենյակում:
| Բյուրեղյա կառուցվածք | խորանարդ, a=3,905 Ա |
| Աճի մեթոդ | Vernuil |
| Խտությունը (գ/սմ3） | 5.175 |
| Հալման կետ (℃) | 2080 թ |
| Կարծրություն (Mho) | 6 |
| Ջերմային ընդլայնում | 10.4 (x10-6/ ℃) |
| Դիէլեկտրիկ հաստատուն | ~ 300 |
| Loss Tangent-ը 10 ԳՀց հաճախականությամբ | ~ 5x10-4@ 300K , ~ 3 x10-4@77K |
| Գույն և արտաքին տեսք | Թափանցիկ (երբեմն թեթևակի շագանակագույն՝ հիմնված եռացման վիճակի վրա): Երկվորյակներ չկան |
| Քիմիական կայունություն | Ջրի մեջ չլուծվող |
SrTiO3 ենթաշերտի սահմանում
SrTiO3 սուբստրատը վերաբերում է ստրոնցիումի տիտանատ (SrTiO3) միացությունից պատրաստված բյուրեղային սուբստրատին:SrTiO3-ը խորանարդ բյուրեղային կառուցվածքով պերովսկիտային նյութ է, որը բնութագրվում է բարձր դիէլեկտրական հաստատունով, բարձր ջերմային կայունությամբ և շատ այլ նյութերի հետ լավ վանդակավորությամբ:
SrTiO3 սուբստրատները լայնորեն կիրառվում են բարակ թաղանթի նստեցման և էպիտաքսիալ աճի ոլորտներում:SrTiO3-ի խորանարդ կառուցվածքը թույլ է տալիս աճեցնել բարձրորակ բարակ թաղանթներ՝ գերազանց բյուրեղային որակով և արատների ցածր խտությամբ:Սա դարձնում է SrTiO3 ենթաշերտերը շատ հարմար տարբեր կիրառությունների համար էպիտաքսիալ թաղանթների և հետերկառուցվածքների աճեցման համար:
SrTiO3-ի բարձր դիէլեկտրական հաստատունը այն հարմար է դարձնում այնպիսի ծրագրերի համար, ինչպիսիք են կոնդենսատորները, հիշողության սարքերը և ֆերոէլեկտրական բարակ թաղանթները:Նրա ջերմային կայունությունը այն դարձնում է հարմար բարձր ջերմաստիճանի կիրառման համար:
Բացի այդ, SrTiO3-ի տարբեր հատկությունները, ինչպիսիք են նրա մետաղական հաղորդունակությունը ցածր ջերմաստիճաններում և գերհաղորդիչ վիճակ առաջացնելու հնարավորությունը, այն օգտակար են դարձնում խտացված նյութի ֆիզիկայի հետազոտությունների և էլեկտրոնային և օպտոէլեկտրոնային սարքերի մշակման համար:
Ամփոփելով, SrTiO3 սուբստրատները ստրոնցիումի տիտանատից պատրաստված բյուրեղային ենթաշերտեր են, որոնք սովորաբար օգտագործվում են բարակ թաղանթների նստեցման, էպիտաքսիալ աճի և էլեկտրոնային և օպտոէլեկտրոնային կիրառությունների լայն շրջանակում՝ իրենց բարձր դիէլեկտրական հաստատունի, ջերմային կայունության և ցանցի լավ համապատասխան հատկությունների շնորհիվ:
